China CNC-Bearbeitung für Großgeräte, hochpräzise, hochwertige Dünnschicht-Vakuumbeschichtungsanlagen bieten Dünnschicht-Solarzellen, LED-Industrie, Touch-Flachbildschirme, Halbleiter, optoelektronische Technologieindustrieanforderungen
Beschreibung
CNC-Bearbeitung für Vakuumbeschichtungskammern, Dünnschicht-Vakuumkammern, große Vakuumkammern, Halbleiter, Solar-Photovoltaik, Touchpanel-Industrie, Präzisionsbearbeitungsbedarf für große Geräte und Komponenten.
Vakuumventile funktionieren zuverlässig in Anwendungen, die von Halbleiterproduktionssystemen mit chemischer und partikulärer Kontamination reichen. Vakuumventile sind ein Gerät, das den Luft- oder Flüssigkeitsstrom lenkt, um eine Vakuumumgebung zu schaffen. Vakuumventile werden in Vakuummaschinen betrieben, die Vakuummeter und -schalter verwenden, um den Luftstrom oder Druck im Vakuumventil zu steuern und den Druck bei Bedarf für seine Anwendung abzulassen. Das Vakuumventil kann in Umgebungen mit Grobvakuum, Hochvakuum (HV) oder Ultrahochvakuum (UHV) verwendet werden.
Unsere Vakuumventile für die CNC-Bearbeitung sind 100% auf Lecks getestet. Diese Vakuumventile sind das Ergebnis eines langen und sorgfältigen Entwicklungsprogramms, das entwickelt wurde, um Produktqualität, Zuverlässigkeit und Wert zu gewährleisten. Es wurden alle Anstrengungen unternommen, um eine Ventilfamilie bereitzustellen, die den Anforderungen verschiedener Benutzer entspricht.
Wir betreuen die Herstellung von Vakuumventilen für viele Kunden, liefern und exportieren in die Vereinigten Staaten: Kanada und Mexiko usw., europäische Länder: Deutschland, Niederlande, Frankreich, Italien, Großbritannien usw., Indien, Malaysia, Japan, Korea, Austrlia usw. über die Welten.
Unser CNC-Bearbeitungsvakuum versteht die Notwendigkeit verschiedener Ventile in Ihren Vakuumsystemen, daher bieten wir eine Reihe von Zuständen der Vakuumventile an, um Ihren Anforderungen gerecht zu werden.
Vakuumventilanwendung:
Vakuumventile werden in Anlagen für Hochvakuum- oder Ultrahochvakuumsysteme verwendet, wenn ein Vakuum in einem geschlossenen Vakuumverarbeitungssystem aufrechterhalten werden muss. Vakuumventile werden verwendet, um den Gasfluss in eine Vakuumkammer zu steuern, zu isolieren, zu entlüften, Entlastung zu schaffen oder die Leitfähigkeit zu steuern. Absperrschieber, Inline-Ventile und Eckventile sind die gängigsten Arten von Vakuumventilen für Hochvakuum- oder Ultrahochvakuumanwendungen.
Weitere Ventiltypen umfassen Absperrklappen, Schlitzventile, Kugelventile, Pendelventile, Ganzmetallventile, Vakuumtellerventile, Aluminium-Eckventile, Vakuumventile mit Teflonbeschichtung und Durchgangsventile.
Absperrklappen sind Schnellöffnungsventile, die aus einer kreisförmigen Metallscheibe oder einem Flügel bestehen, dessen Schwenkachsen rechtwinklig zur Strömungsrichtung im Rohr verlaufen und die, wenn sie auf einer Welle gedreht werden, gegen Sitze im Ventilkörper abdichten.
Schlitzventil (rechteckiger Absperrschieber) eignet sich als Trennventil zwischen der Vakuumkammer der Ladeschleuse und der Transferkammer sowie zwischen der Transferkammer und der Prozesskammer in Halbleiterfertigungsanlagen.
Vakuum-Kugelhähne sind gerade Durchgangsventile mit Vierteldrehung, die ein rundes Verschlusselement mit passenden abgerundeten Sitzen haben, die eine gleichmäßige Dichtungsspannung ermöglichen.
Das Pendelventil dient zum Installieren eines großen Drosselventils zwischen der Prozessvakuumkammer und dem Einlass der Turbinen-Molekularpumpe. Dieses Vakuumventil ist normalerweise als Absperrschieber oder Pendelventil ausgelegt. Zu den Anwendungen gehören Fertigungssysteme für die OLED-, FPD- und PV-Industrie.
Ganzmetallventile sind für den Einsatz in Ultrahochvakuumumgebungen konzipiert, in denen erhöhte Temperaturen die Verwendung von Elastomeren und Niedertemperatur-Dichtungsmetallen ausschließen. Ausheizbares Ganzmetallventil bietet zuverlässige Hochtemperaturdichtungen von atmosphärischen Drücken bis unter 10-11 Torr.
Das Vakuumtellerventil funktioniert zuverlässig in Anwendungen, die von Halbleiterproduktionssystemen mit chemischer und Partikelverunreinigung reichen. Sie können im Grobvakuum, Hochvakuum oder Ultrahochvakuum eingesetzt werden.
Bei Eckventilen ist der Einlassanschluss im rechten Winkel zum Auslassanschluss angeordnet. Das Material dieser Eckventile ist Aluminium A6061-T6, das in Grob- bis Hochvakuumanwendungen für die Halbleiter- und Instrumentenherstellung, F&E und industrielle Vakuumsysteme verwendet wird.
Das Vakuumventil mit Teflonbeschichtung ist ein vollständig konstruiertes Gerät aus Edelstahl-Vakuumkomponenten mit seiner langlebigen und hochchemikalienbeständigen Beschichtung.
Bei Durchgangsventilen ist der Einlassanschluss parallel zum Auslassanschluss sowie axial zum Einlassanschluss positioniert.